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ST6200 半导体模拟测试机

ST6200是一款标准高精度大容量并行半导体芯片模拟测试机。
产品描述
产品参数
技术支持

联讯仪器的ST6200使用联讯仪器性能领先的PXIE SMU板卡S341C 4通道SMU。

 

标准的PXIE接口设计带来巨大的灵活性,提升未来客户固定资产利用率。

 

未来可以切换联讯仪器的其他PXIE板卡来将测试机改造成混合信号测试,数字信号测试,甚至WAT。

 

整套ST6200全机架满配可支持384个标准SMU通道,由于64个通道公用一个通信接口,所以ST6200最多可同时支持6个Test Head。

系统指标 

参数类型

参数名称

参数指标

系统参数

外形尺寸

标准机架

最大电流范围

500mA(并联可达1A)

最大电压范围

30V(并联可达60V)

支持Test head数量

最大6个

每个Test Head通道数

每个Test Head最大64或128通道

每套系统支持通道数

每套系统最大384通道

输入电源

200-240V, >20A

软件功能

支持客户需求定制,支持客户自行二次开发

操作系统

Windows

编程语言

C# 和 VS

环境参数

使用环境

在室内设施中使用

工作要求

温度15 °C ~ 30 °C,30%~70%相对湿度无冷凝

储存要求

温度0 °C ~ 70 °C,30%~70%相对湿度无冷凝

海拔要求

工作:0 m 至 2000 m,储存:0 m 至 4600 m

预热时间

5分钟

校准周期

1

安全保护

正常操作下冲

没有EOS

正常操作上冲

没有EOS

异常操作下冲

没有EOS

异常操作上冲

没有EOS

热插拔

支持探卡热插拔EOS保护

ESD

  1. 使用防ESD材料
  2. 表面电阻:1 ×10^5 Ω< X  1 ×10^9 Ω;

摩擦电压:<100V; Grounding

  1. 系统中所有孤立导体必须接地处理,所有仪表必须接地处理,机架必须接地处理,接地电阻<4ohm
  2. 鼠标键盘需要防ESD处理

安全

设备没有尖锐棱角,没有漏电风险

清洁

系统没有掉屑,掉漆和生锈现象

电压源指标

电压设置精度

量程

设置分辨率

精度(1年)

±(%读数+ 偏置)

典型噪声(有效值)

0.1 Hz-10Hz

±30V

30 uV

0.015%+1.2 mV

85 μV

±6V

6 uV

0.015%+0.6 mV

20 μV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

单通道最大输出功率

3W: ±30V@0.1A,±6V@0.5A

设置时间

<200uS (典型值)

过冲

<±0.1% (典型值,Normal,步进是范围的 10% 至 90%,满量程点,电阻性负载测试)

噪声10Hz-20MHz

6V电压源,0.5A电阻负载,<3mV RMS

 

电流源指标

电流设置精度

量程

设置分辨率

精度(1年)

±(%读数+ 偏置)

典型噪声(有效值)

0.1 Hz-10Hz

±500 mA

500 nA

0.05% + 125 μA

3.5 uA

±100 mA

100 nA

0.03% + 24 μA

2.5 uA

±10 mA

10 nA

0.03% + 1.6 μA

35 nA

±1 mA

1 nA

0.03% + 160 nA

30 nA

±100 μA

100 pA

0.03% + 16 nA

450 pA

±10 μA

10 pA

0.03% + 1.6 nA

200 pA

温度系数2

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

单通道最大输出功率

3W: ±30V@0.1A,±6V@0.5A

 

设置时间

<200us (典型值)

过冲

<±0.1% (典型值,Normal,步进是范围的 10% 至 90%,满量程点,电阻性负载测试)

电压表指标

电压测量精度

 

量程

显示分辨率

精度(1年)       ±(% 读数+偏置)

±30V

30 uV

0.015%+1.2 mV

±6V

6 uV

0.015%+0.6 mV

温度系数

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

 电流表指标

电流测量精度

 

量程

显示分辨率

精度(1年)     ±(% 读数+偏置)

±500 mA

500 nA

0.05% + 125 μA

±100 mA

100 nA

0.03% + 24 μA

±10 mA

10 nA

0.03% + 1.6 μA

±1 mA

1 nA

0.03% + 160 nA

±100 μA

100 pA

0.03% + 16 nA

±10 μA

10 pA

0.03% + 1.6 nA

温度系数2

±(0.15 × 精度指标)/°C (0℃-18℃,28℃-50℃)

联讯仪器ST6200为标准半导体模拟测试机,主要功能和特点包括:。

  • 单机架384个SMU通道的大容量系统。
  • 电流范围500mA,并联可获得1A电流。
  • 电压范围30V,并联可获得60V电压。
  • 全独立SMU通道,无Relay切换动作,保障无EOS损伤。
  • 硬件板卡基于标准的PXIE设计,灵活性和通用性强。
  • 支持所有种类商用探针台。
  • 最多可支持6个Test head并行工作。
  • 软件可配置,可二次编程,基于C#语言和VS插件。
  • 软件支持权限和账户管理。
  • 软件可按客户要求定制MES和数据库操作。
  • 软件动态显示wafer map测试状态和统计测试合格率信息。

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